[发明专利]一种电子束蒸发镀Au的方法在审
| 申请号： | 202011287701.X | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112695279A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 成飞;姚林松 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/14 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 404040 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子束蒸发镀Au的方法，涉及材料表面处理技术领域。本发明的一种电子束蒸发镀Au的方法，所述方法是以钨衬锅作为容器，将金属源放入钨衬锅内，经过手动熔源、二步预熔后进行蒸镀Au，所述二步预熔包括一段预熔和二段预熔，所述一段预熔电子枪的功率为8～10％，预熔时间为4～5min，所述二段预熔电子枪的功率为13～14％，预熔时间为2～3min。本发明公开了一种电子束蒸发镀Au的方法，能够有效减少Au沉积后表面的黑点数目和尺寸，金属膜外观更加平整，提高导电性，对后续的打线工艺也会有帮助。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 蒸发 au 方法 | ||
【主权项】：
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