[发明专利]一种石墨表层抗氧化SiC均匀循环涂层设备

摘要

本发明涉及抗氧化石墨材料涂层加工机械技术领域，具体为一种石墨表层抗氧化SiC均匀循环涂层设备，包括加工平台，安装于加工平台上的反应釜，反应釜内设置有石墨化罐组、涂层平台及鼓风机构，其中，石墨化罐组内部的容腔内盛装有配比好的Si与SiO2的粉末混合物，容腔的四周设置有若干连通容腔底部的进气通道，容腔的上部设置有连通的排气管道；通过利用石墨化罐组内的单质硅粉末与二氧化硅粉末通过反应形成氧化硅气体，并利用鼓风机构将氧化硅气体输送至涂层平台对平台上的石墨工件进行涂层，形成碳化硅涂层，整个反应过程中，反应釜内气体形成循环流动，解决了现有石墨工件涂层不均匀的技术问题。