[发明专利]一种开关谐振器、滤波器及开关谐振器的制作方法在审
| 申请号： | 202011289196.2 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN112422098A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张金姣 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/19;H03H9/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种开关谐振器、滤波器及开关谐振器的制作方法，开关谐振器包括衬底、上电极层、下电极层、氮化镓层、氮化镓铝层、第一电极和第二电极；衬底包括通孔区；下电极层设置于衬底的一侧；氮化镓层设置于衬底远离下电极层的一侧，下电极层和氮化镓层在通孔区相接触；氮化镓铝层设置于氮化镓层远离衬底的一侧；上电极层和第一电极位于氮化镓铝层远离衬底的表面，且第一电极与上电极层不接触；第二电极位于氮化镓层的远离第一电极的侧面。本发明将开关集成在滤波器上，无需增加外加开关就可以实现开关谐振器的开和关，可以有效的节约空间与成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 开关 谐振器 滤波器 制作方法 | ||
【主权项】：
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