[发明专利]一种激光直写图形的补偿方法和激光曝光机在审
| 申请号： | 202011290862.4 | 申请日： | 2020-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN114509918A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 赵涛;陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 江苏坤象律师事务所 32393 | 代理人： | 赵新民 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种激光直写图形的补偿方法包括，第一步：将激光直写图形显影得到的图形尺寸与原始图形尺寸相比较分别确定第一方向和第二方向的补偿值；第二步：根据第一方向的补偿值，将原始图形在第一方向上的外侧轮廓进行第一次补偿得到第一补偿图形；将所述第一补偿图形栅格化，得到第一栅格图形；第三步：根据第二方向的补偿值，将所述第一栅格图形的外侧轮廓在第二方向上进行第二次补偿，获得第二栅格图形；第四步：将第二栅格图形上载到DMD数字微镜器件上，投射到基底上进行曝光。本发明还提供了一种采用本发明的补偿方法的激光曝光机。基于DMD数字微镜器件像素级调整，节约人工和成本，过程简洁，易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 图形 补偿 方法 曝光 | ||
【主权项】：
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