[发明专利]一种显影液的温控装置及其温控方法在审
| 申请号： | 202011294280.3 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112241112A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 蒋磊;许愿 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G05D23/20 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影液的温控装置及温控方法，该装置包括显影液供应管、第一换热三通接头、第二换热三通接头和换热套管，换热套管套装在显影液供应管外部，显影液供应管依次贯穿第一换热三通接头和第二换热三通接头上，换热套管一端密封插装固定于第一连接管口，另一端密封插装固定于第二连接管口，换热介质注入管口上密封插装有换热介质供应管，换热介质流出管口密封插装有换热介质流出管，换热介质供应管和换热介质流出管分别连接对换热介质进行调温的调温换热装置。该温控装置和方法可以更加准确的调节显影液的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 温控 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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