[发明专利]压电式微机电系统麦克风及其制造方法有效
| 申请号： | 202011296014.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112565949B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 金文超;孙福河;李佳;闻永祥 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集昕微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R9/08;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种压电式微机电系统麦克风及其制造方法，压电式微机电系统麦克风包括：衬底，衬底中设有背腔，背腔贯穿衬底；支撑氧化层，位于衬底上，支撑氧化层围成空腔；背极板和振膜，背极板和振膜的边缘由支撑氧化层支撑，背极板包括多个声孔，多个声孔、空腔和背腔连通；压电结构，包括多个一维压电纳米结构，一维压电纳米结构的第一端与背极板电连接，第二端与振膜电连接；其中，位于空腔的背极板、振膜和一维压电纳米结构形成声压信号采集结构。本发明提高了压电式微机电系统麦克风的可靠性、信噪比和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 式微 机电 系统 麦克风 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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