[发明专利]测定系统在审
| 申请号： | 202011296783.4 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112824915A | 公开（公告）日： | 2021-05-21 |
| 发明（设计）人： | 奥田通孝;斋藤祐贵;成田寿男;原子翔;福士树希也 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/265;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种测定系统，能够抑制形成于半导体基板的光半导体元件的测定时间增大。测定系统具备：配置m个光探针群(111～11m)而形成的光探针阵列，m个光探针群各自具有n根光探针(101～10n)；m个光信号选择器(211～21m)，m个光信号选择器各自与m个光探针群中的任一个光探针群以1对1的方式对应，从由对应的探针群的光探针分别输出的光信号中选择一个光信号来输出；以及控制电路，其控制光信号选择器。测定系统通过控制电路的控制，重复切换光信号选择器对光信号的选择，直到选择了从m个光探针群中包含的全部的光探针输出的光信号为止。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 系统 | ||
【主权项】：
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