[发明专利]用于构建测试微环境的结构有效
| 申请号： | 202011299259.2 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112415366B | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;付浩然;张柏诚;唐瑞涛;周涛 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 林丽璀 |
| 地址： | 314006 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于构建测试微环境的结构，包括微孔基体及形成于微孔基体内部的至少两条通道，至少两条通道包括电加热通道、气体循环通道、液体循环通道中的至少两种，微孔基体与待测试区域的面积相匹配并可支撑于待测试区域的上方。本申请的结构空间占用小，且可以提供稳定的环境参数，适用于小型器件的测试。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 构建 测试 环境 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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