[发明专利]液位测量方法及拉单晶方法在审
| 申请号： | 202011299514.3 | 申请日： | 2020-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN112522779A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;G01F23/292 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201306 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液位测量方法及拉单晶方法，所述液位测量方法用于探测拉晶设备内的熔体的液位信息，所述液位测量方法包括以下步骤：将探测器配置为设置于所述熔体的熔体液面的上方；利用所述探测器获取所述熔体液面至所述探测器的第一距离的信息；以及，基于所述第一距离的信息获取所述熔体液面至导流筒的熔体液位信息，得到所述熔间隙的距离。如此设置，使得探测器与熔体液面为非接触的形式，在长晶过程中不会带来污染，可以根据实际需求探测不同区域的熔体液位，探测的灵活性高，探测器还可以设置不同的高度，熔体液位不受限制，可以测量的熔体液位范围大，还能够实时地获取熔体液位信息，提高单晶的质量，避免采用靶点材料，减少成本。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 拉单晶 方法 | ||
【主权项】：
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