[发明专利]自调控生长取向的柔性自支撑单晶Fe3

摘要

本申请公开了一种自调控生长取向的柔性自支撑单晶Fe3O4薄膜材料的制备、薄膜材料及单晶结构。其制备方法为：选择特定晶面取向的基片；在选取的特定晶面取向的基片上制备预溶层；在预溶层上制备取向调控层后再制备单晶Fe3O4薄膜，形成基片/预溶层/取向调控层/Fe3O4多层外延结构；将制得的多层外延结构浸泡于溶剂中溶解预溶层，基片与取向调控层/Fe3O4外延结构分离，制得具有特定晶面取向的柔性自支撑单晶Fe3O4薄膜。本申请根据需求自调控获得了具有不同生长取向的柔性自支撑单晶Fe3O4薄膜材料，有利于在其上生长具有不同晶格参数的外延异质结，大大扩展了单晶Fe3O4薄膜材料在可穿戴电子产品领域的应用。