[发明专利]一种靶材冷却背板及其制备方法有效
| 申请号： | 202011301370.0 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112410740B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;王垚 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种靶材冷却背板及其制备方法，所述靶材冷却背板的基座将进水口和出水口的法兰连接件采用一体型设计作为所述基座的一部分，并相应地将基座中的冷却水道与进出水口之间改成斜水道，有效防止了进出水口处的泄漏问题。本发明所述制备方法将所述靶材冷却背板的盖板厚度增至4.5‑5mm，并在基座的冷却水道的内表面进行喷砂处理，然后采用真空钎焊将所述盖板和所述基座进行焊接得到靶材冷却背板粗品，随后依靠等高的凸台的支撑和固定进行机加工得到所述靶材冷却背板，不仅可以保证焊接情况良好，机加工方便，还可以有效提高靶材冷却背板的重复利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 背板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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