[发明专利]自愈式金属化薄膜制备装置在审
| 申请号： | 202011309236.5 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112680697A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 钱婧 | 申请（专利权）人： | 马鞍山悠思电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/20;C23C14/54;C23C14/56;H01G4/015;H01G4/33;H01G13/00 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 武淑燕 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 自愈式金属化薄膜制备装置，包括蒸镀箱和金属化薄膜主体，所述蒸镀箱的一侧设有送料箱，所述蒸镀箱的另一侧设有收料箱，所述收料箱的内部安装有收料卷筒和方阻检测机构；所述方阻检测机构安装于所述收料卷筒的内侧，所述方阻检测机构用以测量金属化薄膜的方阻；所述方阻检测机构的顶部间隔设有第一支撑座，所述第一支撑座设于所述收料箱的内部顶面，所述金属化薄膜主体穿过第一支撑座、方阻检测机构之间，所述金属化薄膜主体的输出端部缠绕于所述收料卷筒上。本发明能够实现对于金属化薄膜的定时检测，将检测工序与金属化薄膜蒸镀制备工序进行结合，从而有效的缩短了生产周期，检测过程更为方便。 | ||
| 搜索关键词： | 自愈 金属化 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】：
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