[发明专利]MOS工艺角SPICE模型参数获取方法在审

专利信息
申请号: 202011309907.8 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN112507654A 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 陈金明 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F30/398 分类号: G06F30/398;G06F30/17
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 焦天雷
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种MOS工艺角SPICE模型参数获取方法,包括:根据MOS器件类型将选定工艺角上的参数拷贝到FNSP或SNFP中;将相关工艺参数和电容参数设定为FNSP或SNFP上相应的指定值;将选定工艺角上参数之外的其它参数乘以指定系数,获得FNSP或SNFP上的工艺角参数。本发明在工艺角参数里面引入模型参数电子通道长度偏差/电子通道宽度偏差的差值长度偏差值/宽度偏差值的概念,在不改变物理尺寸的前提下,修正器件的电学尺寸,从而改变器件的电学特性,实现快速提取FNSP/SNFP的工艺角模型。
搜索关键词: mos 工艺 spice 模型 参数 获取 方法
【主权项】:
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