[发明专利]一种基于磁控溅射的可见红外窗口减反射膜及制备方法有效
| 申请号： | 202011310042.7 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN112609158B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 陆丹枫;李斯成;唐乾隆;査家明;汶韬 | 申请（专利权）人： | 江苏北方湖光光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于磁控溅射的可见红外窗口减反射膜及制备方法，属于光学薄膜技术领域。主要是用磁控溅射镀制方法，摒弃常规高效减反膜使用硬度低的氟化镱、硫化锌等软膜材料，而是使用氧化钇、氧化钛、氧化铝等硬质氧化物保护膜，经过设计优化形成能用于硫化锌基地的可见、微光、红外共窗口高强减反膜。该膜系能够在0.4um～0.75um，1.57um波段范围内反射率5％，在7.4um～10.7um范围内透过率大于92％，且膜层表面质量、牢固性良好，能抗GJB2485‑95中规定的摩擦试验、GJB150A‑2009中规定的温度、湿热、盐雾等试验要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 磁控溅射 可见 红外 窗口 减反射膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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