[发明专利]用于托盘的磁铁夹有效
| 申请号： | 202011311683.4 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN113122815B | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 禹昌远;李二均 | 申请（专利权）人： | ULVAC韩国股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 谢明晖 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据一实施例的用于托盘的磁铁夹，其用于相互固定可支撑基板下侧的下部托盘和可支撑基板上侧的上部托盘，可以包括：夹子底座，其固定在所述下部托盘；夹头，其可旋转地连接到所述夹子底座，并能够在固定所述上部托盘的固定位置与从所述上部托盘释放的释放位置之间转换位置；夹轴，其安装在所述夹子底座，并可支撑所述夹头；接触部，其安装在所述夹头的端部，并可加压所述上部托盘的上面；底座外壳，其固定在所述夹子底座；底座磁铁，其安装在所述底座外壳；头部外壳，其固定在所述夹头；以及头部磁铁，其安装在所述头部外壳，并以不同的极性面对所述底座磁铁。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 托盘 磁铁 | ||
【主权项】：
暂无信息
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