[发明专利]一种用于半导体的全自动AA设备有效
申请号: | 202011315590.9 | 申请日: | 2020-11-21 |
公开(公告)号: | CN112363041B | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 易佳朋;刘建辉;谢国荣;王华茂;黄辉 | 申请(专利权)人: | 深圳中科精工科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04 |
代理公司: | 深圳众邦专利代理有限公司 44545 | 代理人: | 罗郁明 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观湖街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于半导体的全自动AA设备,包括工作板,所述工作板上分别设置输送模组、检测模组、夹取模组、收料模组、静电消除器和气源模组,所述输送模组设置与所述工作板中部,所述输送模组一端顶上设置静电消除器,所述输送模组另一端顶上设置夹取模组,所述输送模组一侧设置检测模组,所述输送模组另一侧平行设置所述收料模组,所述检测模组一侧设置气源模组,所述检测模组设置为AA装置,所述AA装置包括AA架、第一AA组件,第二AA组件和检测组件,所述AA架设置与所述工作板上,所述AA架上设置第一AA组件,所述第一AA组件上设置所述第二AA组件,所述第二AA组件上设置检测组件,成本低,生产率高,不良率底,具有良好的市场应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 全自动 aa 设备 | ||
【主权项】:
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