[发明专利]一种用于半导体的全自动AA设备有效

专利信息
申请号: 202011315590.9 申请日: 2020-11-21
公开(公告)号: CN112363041B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 易佳朋;刘建辉;谢国荣;王华茂;黄辉 申请(专利权)人: 深圳中科精工科技有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/04
代理公司: 深圳众邦专利代理有限公司 44545 代理人: 罗郁明
地址: 518000 广东省深圳市龙华区观湖街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种用于半导体的全自动AA设备,包括工作板,所述工作板上分别设置输送模组、检测模组、夹取模组、收料模组、静电消除器和气源模组,所述输送模组设置与所述工作板中部,所述输送模组一端顶上设置静电消除器,所述输送模组另一端顶上设置夹取模组,所述输送模组一侧设置检测模组,所述输送模组另一侧平行设置所述收料模组,所述检测模组一侧设置气源模组,所述检测模组设置为AA装置,所述AA装置包括AA架、第一AA组件,第二AA组件和检测组件,所述AA架设置与所述工作板上,所述AA架上设置第一AA组件,所述第一AA组件上设置所述第二AA组件,所述第二AA组件上设置检测组件,成本低,生产率高,不良率底,具有良好的市场应用价值。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 全自动 aa 设备
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