[发明专利]一种用于工艺炉的集成温控装置及集成温控方法在审
申请号: | 202011316816.7 | 申请日: | 2020-11-20 |
公开(公告)号: | CN112284152A | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 齐青;何绿泉;冯保义 | 申请(专利权)人: | 苏州博能炉窑科技有限公司 |
主分类号: | F27D19/00 | 分类号: | F27D19/00 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 杨敏 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及了一种用于工艺炉的集成温控装置及集成温控方法,所述工艺炉内设有多个温区,所述集成温控装置包括主控装置以及多个PID控制装置,所有PID控制装置均与主控装置电连接,所述PID控制装置与所述温区数量相同且一一匹配,用于对各个温区进行温控;所述PID控制装置包括:高精度温度传感器,设于所述温区中,用于采集所述温区的实际温度;第一PID控制器,与所述高精度温度传感器电连接,用于根据所述温区的实际温度、所述温区的设定温度两者来输出所述温区的温控信号;以及加热器控制装置,与所述第一PID控制器电连接,用于根据所述温控信号来控制所述温区中的加热器工作。通过上述设置,可解决目前工艺炉中温控精度差、炉气均匀性差等一系列炉温温控问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 工艺 集成 温控 装置 方法 | ||
【主权项】:
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