[发明专利]一种等离子体处理装置及处理方法在审
| 申请号： | 202011319302.7 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112490105A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 胡淼龙;罗兴安;蒋志超;张春雷;桂铭阳 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 高洁;张颖玲 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种等离子体处理装置及处理方法。其中，所述等离子体处理装置包括：承载部件，用于承载晶圆；第一喷头，位于所述承载部件的上方，用于向所述晶圆喷洒等离子体气流；第二喷头，用于从所述第一喷头的周围朝向所述等离子体气流的外围喷洒惰性气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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