[发明专利]基于谐振体通孔调节频率的MEMS压电谐振器在审
| 申请号： | 202011320164.4 | 申请日： | 2020-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN112398458A | 公开（公告）日： | 2021-02-23 |
| 发明（设计）人： | 鲍景富;梁起;吴兆辉;李中豪;骆晓宝;苏应兵;陈瑞通 | 申请（专利权）人： | 浙江铭道通信技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/17;H03H3/007;H03H3/02;H03H3/04 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 321000 浙江省金华市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于谐振体通孔调节频率的MEMS压电谐振器，属于电子科学技术领域，其包括谐振体振动块，其包括单晶硅层、覆盖在所述单晶硅层一侧表面的氮化铝压电层及位于谐振体振动块两端、且贯穿单晶硅层和氮化铝压电层的多个通孔；两个支撑台，每个支撑台通过一条支撑梁连接在谐振体振动块长度方向的侧面上，支撑台和支撑梁上均覆盖有氮化铝压电层；谐振体振动块上的氮化铝压电层通过支撑梁上的氮化铝压电层与对应支撑台上的氮化铝压电层电气连接。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振 体通孔 调节 频率 mems 压电 谐振器 | ||
【主权项】：
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