[发明专利]一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明属于半导体光电器件技术领域，尤其涉及一种自驱动MSM紫外探测器及其制备方法。本发明提供的紫外探测器包括：衬底；设置在衬底表面的图形化低温结晶层；设置在图形化低温结晶层表面和衬底表面未覆盖图形化低温结晶层区域的高温外延层；设置于所述图形化低温结晶层上的高温外延层为金属极性，设置于所述衬底表面未覆盖图形化低温结晶层区域上的高温外延层为氮极性；设置在所述高温外延层上的插指电极；插指电极由两组电极组成，一组电极设置于高温外延层的金属极性区域，另一组电极设置于高温外延层的氮极性区域。本发明提供的MSM紫外探测器在MSM结构的简单框架下实现了探测器响应度和整体性能的显著提升，使其可以进行自驱动探测。