[发明专利]一种确定OPC最小分割长度的方法有效
| 申请号： | 202011325662.8 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112415864B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 牛东华;张辰明;何大权;魏芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/36 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种确定OPC最小分割长度的方法，通过对一系列测试图形分别设置不同的图形边分割长度，并计算测试图形基于模型的OPC仿真值与晶圆上光阻CD数据的差，然后求出均方根，当均方根出现最小值时所对应图形分割长度即为测试图形边最小分割长度。解决了基于模型的OPC中对目标版图图形不能合理分段而导致OPC修正精度不高的问题，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 确定 opc 最小 分割 长度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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