[发明专利]一种高频声光器及制备方法有效
| 申请号： | 202011327316.3 | 申请日： | 2020-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN112485932B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 王文;王威;祝志刚 | 申请（专利权）人： | 光奥科技（武汉）有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/11 | 分类号： | G02F1/11;C23C14/34;C23C14/18;C23C14/08;C23C14/04 |
| 代理公司： | 武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙) 42274 | 代理人： | 叶小勤 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频声光器及制备方法，所述高频声光器包含声光介质、底电极、氧化锌薄膜层、表电极以及信号线，底电极包含过渡层和导电层，过渡层设置于声光介质上，厚度为50～200纳米，导电层设置于过渡层上，厚度为100～500纳米，氧化锌薄膜层镀制在导电层上作为换能器，厚度为500～1000纳米，表电极镀制在氧化锌薄膜层上，厚度为100～500纳米，信号线分别连接底电极和表电极上，用于连接匹配网络。本发明采用溅射直接在底电极上得到换能器，避免使用真空压焊工艺，简化生产工艺，同时采用掺杂金属元素，提高氧化锌薄膜压电灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 声光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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