[发明专利]压电式麦克风及压电式麦克风装置有效
申请号: | 202011337571.6 | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN112492472B | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 石正雨;沈宇 | 申请(专利权)人: | 瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司;瑞声科技(南京)有限公司 |
主分类号: | H04R17/02 | 分类号: | H04R17/02 |
代理公司: | 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 | 代理人: | 李小东 |
地址: | 213167 江苏省常州市武进*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了压电式麦克风及压电式麦克风装置,其中,压电式麦克风包括:具有收容腔的基底;固定于基底的悬臂梁,悬臂梁上设有压电叠层结构;设于基底与悬臂梁之间的牺牲层,以及设于悬臂梁上的结构层,结构层的厚度大于压电叠层结构的厚度,结构层的长度小于悬臂梁的长度。通过上述方式,本发明的压电式麦克风可以准确控制悬臂梁的锚定位置,从而提高麦克风的灵敏度,同时提高灵敏度和谐振频率的一致性。 | ||
搜索关键词: | 压电 麦克风 装置 | ||
【主权项】:
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