[发明专利]压电式麦克风及压电式麦克风装置有效

专利信息
申请号: 202011337571.6 申请日: 2020-11-25
公开(公告)号: CN112492472B 公开(公告)日: 2022-01-11
发明(设计)人: 石正雨;沈宇 申请(专利权)人: 瑞声新能源发展(常州)有限公司科教城分公司;瑞声科技(南京)有限公司
主分类号: H04R17/02 分类号: H04R17/02
代理公司: 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 代理人: 李小东
地址: 213167 江苏省常州市武进*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了压电式麦克风及压电式麦克风装置,其中,压电式麦克风包括:具有收容腔的基底;固定于基底的悬臂梁,悬臂梁上设有压电叠层结构;设于基底与悬臂梁之间的牺牲层,以及设于悬臂梁上的结构层,结构层的厚度大于压电叠层结构的厚度,结构层的长度小于悬臂梁的长度。通过上述方式,本发明的压电式麦克风可以准确控制悬臂梁的锚定位置,从而提高麦克风的灵敏度,同时提高灵敏度和谐振频率的一致性。
搜索关键词: 压电 麦克风 装置
【主权项】:
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