[发明专利]一种多元难熔金属元素共掺杂纳米NiAl基合金薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202011338850.4 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112458419B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张超;马晨;刘释轩;张保森;朱帅帅 | 申请（专利权）人： | 南京工程学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 南京灿烂知识产权代理有限公司 32356 | 代理人： | 吴亚 |
| 地址： | 211167 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多元难熔金属元素共掺杂纳米NiAl基合金薄膜的制备方法，通过磁控溅射技术解决了NiAl基合金薄膜在高温下纳米晶热稳定性差、高温力学性能不足问题。本发明还公开了一种多元难熔金属元素共掺杂纳米NiAl基合金薄膜及其应用。本发明通过少量的多元难熔金属元素掺杂，经700℃高温退火后高温纳米硬度可达14.2GPa，平均晶粒尺寸可达26.3nm，满足兼顾良好的高温热稳定性与力学性能的纳米晶NiAl合金薄膜材料的应用需求，本发明为NiAl基薄膜在高温MEMS方面的应用奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多元 金属元素 掺杂 纳米 nial 合金 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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