[发明专利]一种高温压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 202011343537.X | 申请日: | 2020-11-25 |
公开(公告)号: | CN112414610B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 李晨;熊继军;贾鹏宇;孙博山 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | G01L9/12 | 分类号: | G01L9/12;G01L19/04;G01L19/06 |
代理公司: | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司 11407 | 代理人: | 彭丽芳 |
地址: | 030000*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明涉及高温压力传感器技术领域,公开了一种高温压力传感器及其制备方法,包括:包括相互连接的传感器头和转换电路板,所述传感器头包括:封装外壳,敏感微结构,设置在空腔内;前卡环,设置在空腔内的前端,对敏感微结构的前端进行限位;后卡环,设置在空腔的后端,对敏感微结构的后端进行限位;转换电路板,设置在套筒外壳内;高温丝管壳,一端通过连接部与封装外壳连接,另一端与套筒外壳连接;高温丝,穿过高温丝管壳,一端伸入封装外壳内与敏感微结构连接,另一端伸入套筒外壳内与转换电路板连接,这种高温压力传感器及其制备方法,实现了压力传感器在‑40℃—1000℃全温区高精度动态测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 高温 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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