[发明专利]一种气相原位质谱检测装置在审

专利信息
申请号: 202011347227.5 申请日: 2020-11-26
公开(公告)号: CN112540117A 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 唐紫超;张将乐;余竞雄;施再发;江一煌;陈玉婉;邓泽峰 申请(专利权)人: 厦门大学
主分类号: G01N27/64 分类号: G01N27/64
代理公司: 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 代理人: 张松亭;游学明
地址: 361000 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及了一种气相原位质谱检测装置,主要用于负离子气相反应原位检测研究。该装置包括离子源室、加速室、透镜室以及探测室。工作时,整套装置内处于高真空环境下,利用激光溅射样品产生等离子体,等离子体经过反应通道再与其他气体反应生成团簇离子,团簇离子进入加速室由加速器加速经过聚焦透镜到达探测室由探测器接收离子信息。本发明与现有的技术相比,其优点在于:该仪器的离子源可实现离子的在线反应的原位检测,整套仪器设计结构简单且紧凑,造价便宜,性能稳定性好,测量的质荷比范围广。
搜索关键词: 一种 原位 检测 装置
【主权项】:
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