[发明专利]一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法在审
| 申请号： | 202011347798.9 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112593286A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 马思乐;孙文旭;余平;张兴拓;马晓静;陈纪旸;栾义忠;姜向远 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B25/16 | 分类号： | C30B25/16;C30B29/40 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 李圣梅 |
| 地址： | 266237 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种新型氢化物气相外延压力控制系统及方法，包括：反应室，与反应室连接的流量控制通路和微调气路；所述流量控制通路上依次设有真空泵和调节阀；所述微调气路上设有质量流量控制器，微调气路用于通入惰性气体，在质量流量控制器的调节下实现对反应室压力的精确控制；结构设计合理，采用与反应室连接的流量控制通路和微调气路，并配合使用PLC控制器，实现了GaN材料生长过程中反应室内压力的精准调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 氢化物 外延 压力 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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