[发明专利]晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备有效
| 申请号： | 202011353627.7 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112647124B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 袁长路;苗江涛 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/32 | 分类号： | C30B15/32;C30B15/30;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄玉霞 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体生长设备的提拉系统及晶体生长设备，提拉系统包括：固定支架、籽晶轴和密封组件。籽晶轴为刚性件，密封组件设在固定支架上且套设在籽晶轴的下端，籽晶轴相对密封组件可上下移动且绕籽晶轴的中心轴线可转动，密封组件与籽晶轴的外周面之间限定出适于容纳润滑油的润滑间隙，密封组件上形成有与润滑间隙连通的第一进口和第一出口，润滑油适于从第一进口进入润滑间隙，并适于从第一出口流出润滑间隙。根据本发明实施例的提拉系统，籽晶轴的旋转和提升更为稳定，有利于晶体中原子的排列和生长，并且籽晶轴下端的密封组件能进一步使籽晶轴更加稳定运行，从而有效提升晶体生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 设备 系统 | ||
【主权项】：
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