[发明专利]大功率低频间歇超声辅助电铸系统及方法有效
| 申请号： | 202011353886.X | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112695349B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 李安心;朱增伟 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | C25D1/00 | 分类号： | C25D1/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 韩天宇 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种大功率低频间歇超声辅助电铸系统及方法，属精密器件加工技术领域。通过在电铸过程中施加大功率低频间歇超声，解决由于让光刻胶一直处于大功率超声波作用下而导致的变形，同时避免连续超声对沉积层表面的侵蚀破坏。在继电器T |
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| 搜索关键词： | 大功率 低频 间歇 超声 辅助 电铸 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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