[发明专利]螺旋式真空泵

摘要

本申请发明提供一种不需要冷却装置，不产生冷凝水，真空度较高的螺旋式真空泵。本申请发明的螺旋式真空泵（1）为，若电动马达（4）驱动而驱动轴（20）被旋转，则第二驱动螺旋部件（17）和与其连结的第三驱动螺旋部件（28）和第一驱动螺旋部件（6）旋转，伴随于此，第一以及第二从动螺旋部件（12），（23）一边旋转一边相对于前述第一、第二以及第三驱动螺旋部件（6），（17），（28）相对地进行回旋运动，因此第一、第二膨胀空间（13），（29）从中心部朝向最外周部一边扩大其容积一边膨胀，第一以及第二压缩空间（24），（32）从最外周部朝向中心部一边缩小其容积一边压缩，因此能够将流体吸引和排出。