[发明专利]具备可变温度调节装置的金属氧化物电子束蒸发源有效
| 申请号： | 202011355840.1 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN113388816B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 崔范浩;李承洙;曹永根;金龙植 | 申请（专利权）人： | TOS株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国京畿道乌山市*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本发明的具备可变温度调节装置的金属氧化物电子束蒸发源包括：坩锅，其保管由电子束直接注射的金属氧化物构成的沉积物质；N个加热部，其具备在所述坩锅的外侧部，将所述坩锅区分为N个区域并分别具备在所述N个区域；及控制部，其为了减小电子束注射区域和未注射区域的温度差而控制所述N个加热部，使所述坩锅的上部区域比下部区域维持更高的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 可变 温度 调节 装置 金属 氧化物 电子束 蒸发 | ||
【主权项】：
暂无信息
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