[发明专利]槽式清洗设备及清洗方法在审
| 申请号： | 202011356226.7 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112657930A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 郑云亮;吴仪;李嘉 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/02;B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种槽式清洗设备及清洗方法，该槽式清洗设备包括清洗槽和设置在该清洗槽上的注液装置、排液装置和水雾喷淋装置，其中，注液装置用于向清洗槽内注入清洗液体；排液装置位于清洗槽的底部，用于排出清洗槽中的清洗液体；水雾喷淋装置位于清洗槽的预设最高液位以上，用于朝位于清洗槽内的待清洗件喷淋水雾。本发明实施例提供的槽式清洗设备及清洗方法的技术方案，不仅可以提高药液置换效率和清洗效果，而且可以避免在清洗过程中待清洗件暴露在空气中吸附环境中的颗粒，造成二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 方法 | ||
【主权项】：
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