[发明专利]一种PERC单晶电池用硅片及其退火方法与应用

摘要

本发明提供了一种PERC单晶电池用硅片的退火方法及PERC单晶电池用硅片与应用，所述退火方法包括以下步骤：(1)第一绝对压力下送入硅片，并通入氮气吹扫；(2)抽真空至第二绝对压力，并通入氮气吹扫；(3)保持第三绝对压力，并通入氮气吹扫；(4)保持第四绝对压力，停止通入氮气，进行检漏；(5)保持第五绝对压力，通入氧气氧化，同时通入氮气吹扫；(6)第六绝对压力下取出硅片，并通入氮气吹扫；其中，步骤(1)至步骤(6)均在660‑700℃的恒温下进行。所述退火方法改善了PERC单晶电池用硅片的亲水性，同时有效去除了硅片表面的残留杂质，减少了外观小白点的产生。