[发明专利]用于确定折射率、中心张力或应力分布的设备和方法在审
申请号: | 202011362086.4 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN112858218A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | W·J·弗纳斯;金榛洙;B·M·森达拉姆 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/41 | 分类号: | G01N21/41;G01N21/21;G01L1/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张璐;乐洪咏 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了用于确定折射率、中心张力或应力分布的设备和方法。设备可包括至少部分由参比块的第一主表面限定并且被构造用于接收样品的腔体。所述设备可包括第一偏振切换光源,其被构造用于将第一偏振切换光束发射向腔体;以及被构造用于检测对应信号的第一检测器。所述设备可包括第二偏振切换光源,其被构造用于将第二偏振切换光束发射向腔体;以及被构造用于检测对应信号的第二检测器。第一参比块可位于第二检测器与第二参比块之间。确定估算应力分布的方法可包括根据所测的样品的延迟分布来确定中心张力。方法可包括根据样品的折射率分布来确定初始应力分布。方法可包括缩放和调整应力分布。 | ||
搜索关键词: | 用于 确定 折射率 中心 张力 应力 分布 设备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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