[发明专利]检查方法、光学膜检查装置以及光学部件的制造方法在审
| 申请号： | 202011367507.2 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112924458A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 川上武志 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/84;B32B7/12;B32B27/06;B32B27/36;B32B27/32;B32B23/04;B32B33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 齐秀凤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供用于高效且可靠地检查光学膜的技术。一个实施方式涉及的检查方法具备：在光学膜的检查区域照射检查光的照射工序；检测作为由检查区域反射的检查光的反射光的检测工序；和基于反射光的检测结果，判定光学膜的异常的有无的判定工序，检查光具有明部和暗部交替地配置的条纹图案。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 光学 装置 以及 部件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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