[发明专利]一种调控213nm激光输出功率的方法及其装置在审
| 申请号： | 202011367508.7 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN112490841A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 任俊杰;王家赞;江锐;刘广义;陈彬彬 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;H01S3/102;H01S3/109 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王文思 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种调控213nm激光输出功率的方法，包括：S1，设置三倍频晶体的温度；S2，利用三倍频晶体输出532nm激光及355nm激光；S3，对532nm激光及355nm激光进行和频得到213nm激光，并记录该213nm激光的输出功率；S4，重复执行S1～S3多次，其中，每次设置三倍频晶体的温度不同，并记录在不同温度下213nm激光的输出功率，进而得到三倍频晶体的温度与213nm激光的输出功率的对应关系；S5，根据该对应关系，调节三倍频晶体的温度，以调控213nm激光的输出功率。本公开还提供了一种调控213nm激光输出功率的装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调控 213 nm 激光 输出功率 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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