[发明专利]飞轮式二维材料生长用静态气体混合器在审
申请号: | 202011368419.4 | 申请日: | 2020-11-30 |
公开(公告)号: | CN112695298A | 公开(公告)日: | 2021-04-23 |
发明(设计)人: | 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 | 申请(专利权)人: | 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;涂三民 |
地址: | 214174 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,它包括混合筒、第一风叶轮、第二风叶轮、第三风叶轮、第二挡板、出气管、第一进气管、第二进气管、下隔板、下隔板通气孔、上隔板、上隔板通气孔、台阶折板与第一挡板;第二进气管的出口偏离第一风叶轮的中心,下隔板通气孔的中心与第一风叶轮的中心呈偏心设置,第二挡板与第一挡板呈对插设置。本发明极大地提高了气体混合效果且具有结构简单、拆装方便的优点。 | ||
搜索关键词: | 飞轮 二维 材料 生长 静态 气体 混合器 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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