[发明专利]飞轮式二维材料生长用静态气体混合器在审

专利信息
申请号: 202011368419.4 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112695298A 公开(公告)日: 2021-04-23
发明(设计)人: 于葛亮;康斯坦丁·诺沃舍洛夫;杨金东;孙正乾;唐阳;王杨华 申请(专利权)人: 无锡费曼科技有限公司;无锡墨诺半导体科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 曹祖良;涂三民
地址: 214174 江苏省无锡市惠*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种飞轮式二维材料生长用静态气体混合器,它包括混合筒、第一风叶轮、第二风叶轮、第三风叶轮、第二挡板、出气管、第一进气管、第二进气管、下隔板、下隔板通气孔、上隔板、上隔板通气孔、台阶折板与第一挡板;第二进气管的出口偏离第一风叶轮的中心,下隔板通气孔的中心与第一风叶轮的中心呈偏心设置,第二挡板与第一挡板呈对插设置。本发明极大地提高了气体混合效果且具有结构简单、拆装方便的优点。
搜索关键词: 飞轮 二维 材料 生长 静态 气体 混合器
【主权项】:
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