[发明专利]液体材料气化装置

摘要

本发明提供一种液体材料气化装置。具备：容器(1)，在内部贮存有液体材料(M)；加热器(2)，对所述容器(1)内的液体材料(M)进行加热；多个液面检测体(3)，在所述容器(1)内液面检测点(P)分别以设定高度为基准配置在规定的高度范围内；基准检测体(4)，在所述容器(1)内设置在比多个所述液面检测体(3)的规定的高度范围靠上侧的位置；以及液面判定器(5)，根据基于所述基准检测体(4)的电阻的变化而设定的阈值以及多个液面检测体(3)的电阻的变化，判定所述设定高度处的液体材料的有无。