[发明专利]一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法在审
| 申请号： | 202011375499.6 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112344872A | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 张彪;陆林冬;李金荣;郭帅军 | 申请（专利权）人： | 深圳市艾特自动化有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种在线式石墨舟形变检测系统及形变检测方法，该检测系统包括：石墨舟输送模块、激光测量模块、分析处理模块和控制模块；控制模块和分析处理模块均设于工控机上，控制模块与激光测量模块通信连接；石墨舟输送模块安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；激光测量模块安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；分析处理模块对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果。本发明采用全自动化生产，加设激光测量模块和分析处理模块，对运行中的石墨舟进行形变检测，省去了定期停工对石墨舟人工检测的工作，提高了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 石墨 形变 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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