[发明专利]一种在线式石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法在审
| 申请号： | 202011375518.5 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112461134A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 黎俊龙;林小华;吴卓庚;吴志龙 | 申请（专利权）人： | 深圳市艾特自动化有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;H01L21/673;H01L31/0216;H01L31/18;C23C16/50;C23C16/52;C23C16/54 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种在线式石墨舟偏移的补偿装置及补偿方法，该补偿装置包括：激光测量模块、补偿模块和控制模块，所述控制模块分别与激光测量模块和补偿模块通信连接；所述激光测量模块实时测量石墨舟上舟槽的实际位置，并将该位置信息发送至控制模块；控制模块根据舟槽的实际位置信息和预存的舟槽的校准位置信息计算出石墨舟舟槽的偏移数据，并将该偏移数据发送至补偿模块；所述补偿模块根据该偏移数据确定装卸片机器人对每一舟槽的准确装卸片位置，并控制装卸片机器人运行至该位置进行装卸片操作。本发明有效解决了现有技术中无法对石墨舟舟槽的偏移进行实时监控，而造成石墨舟偏移后，装卸片机器人无法准确将硅片进行装卸的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 石墨 偏移 补偿 装置 方法 | ||
【主权项】：
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