[发明专利]临时键合结构在审
| 申请号： | 202011379817.6 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112530877A | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 张卫;刘子玉;陈琳;孙清清 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | H01L23/10 | 分类号： | H01L23/10 |
| 代理公司： | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人： | 曹寒梅 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开涉及一种临时键合结构，属于半导体技术领域，能够节省材料成本，降低解键合时间，而且不存在热应力。一种临时键合结构，包括：在衬底的正面上形成的第一类型子嵌套结构，其中，所述衬底的正面上形成有正面器件；在用于临时键合的载板上形成的第二类型子嵌套结构，其中，所述第一类型子嵌套结构和所述第二类型子嵌套结构能够相互嵌套并互锁。 | ||
| 搜索关键词： | 临时 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于复旦大学，未经复旦大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011379817.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于智能手机贴标的卷膜装置
- 下一篇：一种铁路全封闭式声屏障及其安装方法
