[发明专利]一种多晶硅锭及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202011382137.X 申请日: 2020-11-30
公开(公告)号: CN112522782B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 张涛;白枭龙;欧子杨;晏文勇;陈骏;金浩 申请(专利权)人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 杨威
地址: 334100 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明提供了一种多晶硅锭的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:a)将籽晶铺设在坩埚底部,再覆盖多晶硅料,得到装好的硅料;所述籽晶为具有单一晶向的单晶硅;b)将步骤a)得到的装好的硅料依次进行定向凝固生长、退火和冷却,得到多晶硅锭。与现有技术相比,本发明采用具有单一晶向的单晶硅作为籽晶,采用特定制备工艺,实现较好的相互作用,制备得到的多晶硅锭具有一致的晶向,可以降低位错密度,尤其是硅锭中上部的位错密度,从而提高晶体质量和光电转换效率。实验结果表明,采用本发明提供的制备方法制备得到的多晶硅锭具有与籽晶一致的单一晶向;晶体质量好,能够进一步得到多晶硅块及多晶硅片;并且光电转换效率能够到达19.8%以上。
搜索关键词: 一种 多晶 及其 制备 方法
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