[发明专利]一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法有效
| 申请号： | 202011382235.3 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN112663008B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王泽;秦青丰;王云壮;毕伟;孙志娟;夏少华;叶霞;李小平;王成;雷卫宁;谈衡;陈修祥 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/54;B21B1/38 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 张红艳 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于轻质合金技术领域，具体涉及一种利用射频磁控制备镁铝复合板的方法，包括：(1)基体准备：将清洗后的镁合金基体放入射频磁控溅射设备送样室进行抽真空；(2)预溅镀：分别对溅射腔中的镁靶材和铝靶材进行预溅镀；(3)送样：将镁合金基体送到溅射腔中样品台；(4)洗腔：开启溅射腔进气阀，调节高纯氩气流量和清洗时间；(5)加热基体：将所述镁合金基体进行加热，然后调整样品旋转台持续旋转；(6)溅镀：分别对镁靶材和铝靶材进行射频磁控溅射；(7)冷轧：对溅镀铝的单面进行冷轧处理，获得镁铝复合板。本发明方法制备的镁铝复合板综合性能比较优异，镁和铝之间的层界面实现完全的冶金结合，具有较高的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 射频 控制 备镁铝 复合板 方法 | ||
【主权项】：
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