[发明专利]石墨烯薄膜的转移方法在审
申请号: | 202011384432.9 | 申请日: | 2020-12-01 |
公开(公告)号: | CN114572974A | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 刘忠范;马靖;宋雨晴;张燕;丁庆杰;林立 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
主分类号: | C01B32/194 | 分类号: | C01B32/194 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 李华;崔香丹 |
地址: | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开一种石墨烯薄膜的转移方法,包括:在直接生长于金属基底上的石墨烯薄膜表面形成小分子聚合物层,得到小分子聚合物层/石墨烯薄膜/金属基底复合体;在所述小分子聚合物层上形成有机辅助支撑层;在所述有机辅助支撑层表面粘附热释放胶带层;除去所述金属基底,得到热释放胶带层/有机辅助支撑层/小分子聚合物层/石墨烯薄膜复合体;将所述热释放胶带层/有机辅助支撑层/小分子聚合物层/石墨烯薄膜复合体的石墨烯薄膜侧面向目标衬底贴合;加热去除所述热释放胶带层;及用有机溶剂除去所述有机辅助支撑层和所述小分子聚合物层。本发明的转移方法,可以避免除去有机辅助支撑层在石墨烯薄膜表面的残留,提高石墨烯薄膜表面的洁净度。 | ||
搜索关键词: | 石墨 薄膜 转移 方法 | ||
【主权项】:
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