[发明专利]一种锡滴发生装置有效
| 申请号： | 202011386184.1 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN112540512B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 伍强;李艳丽;顾峥 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B05B1/00;B05B15/50 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;陈慧弘 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种锡滴发生装置，包括：倒置的锡滴发生器本体；在所述锡滴发生器本体的喷嘴上方设置有锡池，所述锡池与所述喷嘴联通；所述锡池上设置有加热线圈，用于对锡池中的锡进行加热，使其保持熔融态。本发明的锡滴发生装置采用倒置结构设计，将锡滴的喷射方向改变为由下至上，并且在喷嘴部分设计了锡池结构，从而将喷嘴用薄层熔融态的锡液面保护，避免喷头由于锡的残留或者杂质累积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 发生 装置 | ||
【主权项】：
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