[发明专利]钙钛矿薄膜节奏化沉积生产方法与设备

摘要

本发明涉及一种钙钛矿薄膜节奏化沉积生产方法与设备，包括：将预先制备有含钙钛矿前驱体BX2材料的前驱体BX2薄膜的待沉积基片放入沉积反应腔室中蒸发沉积前驱体AX材料，沉积持续一定时间后暂停，使得沉积在前驱体BX2薄膜表面的前驱体AX材料有足够的时间扩散进入前驱体BX2薄膜内从而形成钙钛矿ABX3晶体，暂停一段时间后再一次进行沉积，如此沉积与暂停过程多次交替节奏化反复，使得AX材料进入到BX2薄膜的内部与BX2材料充分反应，从而得到没有BX2材料残留或有AX材料富余的ABX3钙钛矿晶体，直至得到设定膜厚的钙钛矿ABX3薄膜后结束节奏化沉积过程。本发明还公开使用该方法的设备。本发明实现钙钛矿薄膜连续大面积生产，而且还具有高可靠性与可重复性的特点。