[发明专利]一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法在审
| 申请号： | 202011390529.0 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112504564A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 张仓明 | 申请（专利权）人： | 苏州万贵源精密科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;B65G47/90 |
| 代理公司： | 广东有知猫知识产权代理有限公司 44681 | 代理人： | 陈长益 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及气密性检测技术领域，且公开了一种微流控芯片膜类键合后气密性检测装置及方法，上料吸盘设于上料气缸侧面，上料气缸与上料吸盘活动连接，且上料气缸与无杆气缸活动连接，检测组件设于无杆气缸正面，检测组件与无杆气缸固定连接，且检测组件与上料吸盘活动连接，所述下料组件设于检测组件正面，下料组件与检测组件活动连接，该申请，通过对此装置增设了驱动装置、压头与检测平台，使此装置可以不需要通过人工进行检测，减低了人工所造成的误差，有效的提升了检测良率，通过对此装置增设了上料吸盘与无杆气缸，使此装置自动进行上下料，解放了操作人员的双手，在高强度工作下，此装置依旧可以有规律的上下料，有效的提升了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流控 芯片 膜类键合后 气密性 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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