[发明专利]晶圆探针台自定义测试路径实现方法在审
| 申请号： | 202011391910.9 | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112597742A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 高跃红;王蕾;严大生;邱海斌;董明远;孙德举;崔立志;姜鑫 | 申请（专利权）人： | 长春光华微电子设备工程中心有限公司 |
| 主分类号： | G06F40/166 | 分类号： | G06F40/166;G06F11/36 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明;郭婷 |
| 地址： | 130102 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆探针台自定义测试路径实现方法，包括如下步骤：S1、将晶圆探针台生成的model属性图文件调入测试路径生成软件，生成测试路径编辑文件；S2、将测试模式载入测试路径编辑文件，在测试路径编辑文件中编辑测试路径；S3、将编辑有测试路径的测试路径编辑文件载入测试路径生成软件，生成晶圆探针台识别的测试路径文件。本发明能够实现测试路径的自定义，满足客户对测试路径灵活规划的需求，还能使路径最优化，节省测试时间、提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 自定义 测试 路径 实现 方法 | ||
【主权项】：
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