[发明专利]一种集尘器、等离子体处理设备及调压方法在审
| 申请号： | 202011392147.1 | 申请日： | 2020-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114582694A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王恒阳;连增迪;吴狄 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/18;H01J37/305;H01L21/3065;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;张静洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种集尘器，等离子体处理设备及调压方法，包括与等离子设备腔室相连的气体管道，真空泵，位于腔室和真空泵之间的圆环形的第一框架，通过第一转动轴与第一框架的侧壁连接的多个叶片，多个所述叶片之间按照一定间隔排列，电压设备，用于在相邻两个叶片之间施加不同极性电压，可以在等离子体反应过程中，利用静电吸附原理，将反应过程中产生的大颗粒灰尘固定在通电的叶片上，倾斜的叶片还可以阻挡气体管道中的颗粒逆流回反应腔，并且叶片的倾斜角度可以调整，以适应反应腔内所需气压。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集尘 等离子体 处理 设备 调压 方法 | ||
【主权项】：
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