[发明专利]气体传感器及其气敏膜的制造方法在审
| 申请号： | 202011392870.X | 申请日： | 2020-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN112683961A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陈学志;郭鹏飞;陆原;李立伟 | 申请（专利权）人： | 赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;C23C14/08;C23C14/35;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种气体传感器及其气敏膜的制造方法，所述气体传感器包括：基底；以及设置于所述基底上的多个感测单元，每个感测单元包括：微加热器；设置于所述微加热器表面的活化区；以及形成于所述活化区的气敏膜，所述气敏膜包括多个柱状结构，所述柱状结构凸设于所述活化区。本发明采用反应溅射生成气敏膜，所制得的气敏膜厚度均匀，厚度可控，具有较大的表面积，且可实现整片晶圆级的沉积模式，适合大规模量产。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 及其 气敏膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
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